SCTS-2000系型雙電測式四探針測試儀
關鍵詞：雙電測，導電薄膜，導體


SCTS-2000系型雙電測式四探針測試儀是運用直線或方形四探針雙位測-改進形范德堡測量方法測試電阻率/方阻的多用途綜合測量儀器。該儀器設計符合單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 A.S.T.M 標準。利用電流探針、電壓探針的變換，進行兩次電測量，對數據進行雙電測分析，自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應以及探針不等距和機械游移等因素對測量結果的影響，它與單電測直線或方形四探針相比，大大提高正確度，特別是適用于斜置式四探針對于微區的測試。儀器適用于半導體材料廠器件廠、科研單位、高等院校對導體、半導體、類半導體材料的導電性能的測試，特別是適用于斜置式四探針對于微區的測試。
一、主要特點：
1、 根據不同材料特性需要，探頭可有多款選配。有高耐磨碳化鎢探針探頭，以測試硅類半導體、金屬、導電塑料類等硬質材料的電阻率/方阻；
2、 也有球形鍍金銅合金探針探頭，可測柔性材料導電薄膜、金屬涂層或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上導電膜（ITO膜）或納米涂層等半導體材料的電阻率/方阻。
3、 換上四端子測試夾具，還可對電阻器體電阻、金屬導體的低、中值電阻以及開關類接觸電阻進行測量。
4、由主機、選配的四探針探頭、測試臺以及PC軟件等部分組成。

二、基本技術參數
3.1 測量范圍
電阻率：1×10-4～2×105 Ω-cm，分辨率：1×10-5～1×102 Ω-cm
方 阻：5×10-4～2×105 Ω/□，分辨率：5×10-5～1×102 Ω/□
電 阻：1×10-5～2×105 Ω ，分辨率：1×10-6～1×102 Ω
3.2 材料尺寸(由選配測試臺決定和測試方式決定)
直 徑：圓測試臺直接測試方式 Φ15～130mm，手持方式不限
SZT-B/C/F方測試臺直接測試方式180mm×180mm，手持方式不限.
長(高)度：測試臺直接測試方式 H≤100mm, 手持方式不限.
測量方位: 軸向、徑向均可
3.3. 4-1/2 位數字電壓表：
(1)量程： 20.00mV～2000mV
(2)誤差：±0.1%讀數±2 字
3.4 數控恒流源
(1)量程：0.1μA，1μA，10μA，100?A，1mA，10mA，100mA，1A
(2)誤差：±0.1%讀數±2 字
3.5 四探針探頭（選配其一或加配全部）
(1)碳化鎢探針：Φ0.5mm，直線探針間距1.0mm，探針壓力: 0～2kg 可調
(2)薄膜方阻探針：Φ0.7mm，直線或方形探針間距2.0mm，探針壓力: 0～0.6kg 可調
3.6 電源
輸入: AC 220V±10% ,50Hz 功 耗：<20W
3.7 外形尺寸：
主機 220mm（長）×245 mm（寬）×100mm（高）